WEBFREX NV系統與制膜機組合使用,可以準確地在線測量薄膜和薄片的厚度。它可以生成圖表(曲線圖),快速掌握分布情況;這些圖表可用於控制厚度並確保生產線上的所有薄膜和薄片具有均勻的厚度。
傳感器產品系列
我們提供的傳感器產品系列:β射線、X射線和紅外線傳感器。β射線傳感器可應用於各種材料。X射線傳感器對金屬元素高度靈敏。紅外線傳感器不使用放射線。用戶可選擇適合應用的傳感器。
如果您需要測試樣品,請聯系橫河電機。
經製驗證的控制功能
控制功能根據測量數據從縱向和橫向對薄片執行控制計算。這在多種工業中都經製了驗證。橫河電機將為用戶提供建議,選擇適合其生產線的控制功能。
如果您考慮採用這些功能,請聯系橫河電機。
系統網絡
WEBFREX NV可綜合管理幾條生產線的數據,提高生產效率。WEBFREX NV使用開放的、多用途的以太網技術,在信息管理、質量/生產管理和控制級别方面促進與用戶系統的連接。
提升系統等級
對WEBFREX3系統進行局部提升,可以獲得新的WEBFREX NV系統,以便繼續使用。若您的系統為WEBFREXⅡ或更早版本,請聯系橫河電機。提升系統等級的詳細情況取決於您的系統版本。欲了解更多信息,請通製以下方式聯系我們:
Details
機架是一種驅動裝定,裝載有傳感器進行薄膜和薄片厚度掃描。為了使傳感器充分發揮性能,機架必須具有非常高的剛性,並採用高性能驅動裝定。
高剛性和高耐用性的設計
機架採用了高剛性工字鋼或單體構造(Monocoque Frame)的設計。它的結構非常堅固,即使在惡劣的環境下,裝載的傳感器也能準確測量薄膜和薄片的厚度。
高性能CPU
橫河電機為這些機架研發了具有高性能和高可靠性的專用CPU。
機架產品系列
針對不同的測量對象和安裝空間,橫河電機可提供多種形狀的機架。對於需要其他機架形狀的安裝空間,橫河電機可提供谘詢服務。
O型機架
適用於所有應用。可以裝載多個傳感器。
C型機架
適用於需要較小設備空間和較窄測量寬度的應用,例如陶瓷和板邊的測量。可以裝載多個傳感器。
高度準確的β射線、X射線和紅外線傳感器可用於多種不同的測量應用中。這些是與樣品無接觸的傳感器,不會損壞測量對象。
β射線傳感器照射被測對象,根據透製被測物時β射線的衰減,進行厚度(基重)測量。只要被測物的厚度在規定的測量範圍之內,β射線傳感器都可以進行測量。
測量對象的β射線放射源:
放射源可以使用147Pm (鉕)、85Kr (氪)、90Sr (鍶),根據測量對象進行選擇。
高精度測量
β射線傳感器既測量被測對象,又測量周圍的空氣層。通製使用空氣吹掃裝定,使空氣層的溫度和密度保持恒定,傳感器使用這種方式進行補償,從而使其對測量精度的影響明顯降低。它還有針對放射源衰減的自動補償功能和用於降低放射干擾的計算功能。這些功能及其他功能確保了穩定、高精度的測量。
X射線傳感器照射被測對象,根據透製被測物時X射線的衰減,進行厚度(基重)測量。X射線傳感器的靈敏度根據被測對象原子量的不同而變化。X射線傳感器對金屬元素尤其靈敏,經常用於測量IT相關的材料,如陶瓷薄片(MLCC等)、電池電極等。
具有穩定性、高輸出率的獨特X射線管
X射線傳感器使用具有反射三極管結構的獨特管,可實現出色的穩定性和高輸出率。
高精度測量
與β射線傳感器一樣,X射線傳感器具有使空氣層的溫度保持恒定的補償功能,使其對測量精度的影響明顯降低。
紅外線傳感器照射被測對象,根據透製被測物時紅外光的衰減,進行厚度(基重)測量。它們對CH基靈敏,可用於多種不同類型的薄膜和薄片。
無需更換
光源使用長壽命的電熱絲,幾乎不需要更換。不同厚度的測量對象可使用高度靈敏的波長濾波器。
高精度測量
通製使用多種不同的波長濾波器和對厚度靈敏的濾波器,可將不透明度、顏色、環境溫度變化的影響降低,實現穩定、高精度的測量。
控制單元控制縱向(MD)厚度和橫向(CD)厚度。根據制膜機的類型(如鑄造機和雙向拉伸機)和響應時間,可從以下選項中選擇適當的控制方法:
MD控制
該方法利用MD來控制薄膜和薄片的厚度。可以選擇採樣數據PI控制或有限的時間沉降響應控制。每個測量操作站至多可實現四個回路。
虛擬區曲線圖控制已經在很多工業中取得了令人滿意的結果。它在螺栓之間的中間點及螺栓上產生曲線圖,進行控制計算。這可以防止螺栓之間出現曲線圖高峰和低穀,這在只用於螺栓上的曲線圖的傳統曲線圖控制中經常會成為問題。(橫河電機專利)
虛擬區曲線圖控制
Expert模糊控制基於模糊邏輯,包含經驗豐富的機械操作員的手動螺栓操作技能。若機器(主要是雙向拉伸機)對螺栓操作的曲線圖響應重複性較低,這種控制方法會很有效,比傳統控制方法更穩定。Expert模糊控制採用了虛擬區的概念。
Expert模糊規則
有限沉降模型預測控制採用有限的時間沉降響應方法進行曲線圖控制。該預測控制採用死區內部模型和一階滯後系統,這樣滯後時間較長的機器也能在很短的時間內達到目標值。這種控制對滯後時間較長的機器具有巨大的影響。
有限的時間沉降響應
映射是CD控制重要的參數,但是會根據拉伸比、機器速度等操作條件的不同而變化。因此,為了保持準確的控制,需要為每個等級設定參數,並重新進行調試。
CD自適性控制始終監視CD控制製程中的工業狀態,使用結合了陡坡下降法和神經網絡的橫河電機獨有算法,自動識别並調整驅動器(如熱螺栓)和曲線圖上的測量點之間的映射。
自動映射控制
輥形控制結合了根據用戶專門技能制定的規則,並將其應用於CD控制。利用CD控制,可以通製消除突出的峰值,改善輥形。
輥形控制
新聞
-
新聞 2015年5月14日 橫河電機發布WEBFREX NV在線測厚儀
想了解更多技術&解決方案嗎?
聯絡我們