เครื่องมือเซมิคอนดักเตอร์สำหรับการสร้างต้นแบบและการผลิตปริมาณน้อย

ไม่ว่าคุณกำลังมองหาการพัฒนาอุปกรณ์ใหม่ในระดับการสร้างต้นแบบหรือสำหรับการผลิตในปริมาณน้อยแบบผสมผสานสูง ไม่ว่าคุณจะตั้งเป้าที่จะฝึกอบรมวิศวกรของคุณเองหรือเข้าใจพื้นฐานของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ในฐานะนักเรียน หรือหากคุณเพียงต้องการใช้ ห้องทดลองสักสองสามวัน ไม่ต้องค้นหาอีกต่อไป คุณเพิ่งพบ Minimal Fab

การเข้าถึง Mega Fabs จริงถือเป็นเรื่องท้าทายเนื่องจากมีการแปลเป็นภาษาท้องถิ่นเฉพาะ การเข้าถึงที่จำกัด และมีค่าใช้จ่ายสูง ความยากลำบากในการเข้าถึงสิ่งอำนวยความสะดวกและความรู้ดังกล่าวทำให้ Minimal Fab สามารถตอบสนองความคิดสร้างสรรค์ ความกระหายความรู้ และความต้องการด้านการฝึกอบรมของคุณได้อย่างแท้จริง ด้วยการสร้างการผลิตเซมิคอนดักเตอร์โดยไม่ต้องใช้ห้องคลีนรูม และใช้เวเฟอร์เพียงประมาณครึ่งนิ้วเท่านั้น (เส้นผ่านศูนย์กลางโดยเฉพาะ 12.5 มม.) Minimal Fab นำเสนอโซลูชันมากมายที่ปรับให้เหมาะกับแต่ละโครงการของคุณ อย่าลังเลที่จะเจาะลึกเกี่ยวกับเทคโนโลยีนี้และติดต่อเราหากมีข้อสงสัยใดๆ

การสร้างต้นแบบ

ความท้าทาย ของลูกค้า

การสร้างต้นแบบอุปกรณ์จำเป็นต้องลองผิดลองถูกหลายรอบ ซึ่งอาจใช้เวลาหลายเดือนโดยใช้เวลาสั้นที่สุดไปจนถึงหลายปีหรือนานที่สุด อุปกรณ์จำนวนมากผลิตขึ้นด้วยการลองเพียงครั้งเดียวเมื่อประดิษฐ์ขึ้นใน "Mega Fab" ทั่วไป ซึ่งใช้เวลานานและมีค่าใช้จ่ายสูงมาก นอกจากนี้ การสร้างต้นแบบของวัสดุพิเศษหรือมีราคาแพงซึ่งผลิตได้ยากบนแผ่นเวเฟอร์ขนาดใหญ่ก็เป็นอุปสรรคในแง่ของเทคโนโลยีและต้นทุนเช่นกัน

ทางออกของ โยโกกาวา

Minimal Fab ช่วยให้สามารถสร้างต้นแบบได้จากอุปกรณ์เครื่องเดียว กระบวนการเปิดเผย Minimal Fab ในปัจจุบันใช้วิธีการที่ไม่สวมหน้ากาก ซึ่งเพิ่มความเร็วของการวิจัยและพัฒนาได้อย่างมาก เนื่องจากไม่ได้ใช้มาสก์ จึงง่ายต่อการเปลี่ยนเลย์เอาต์ของมาสก์โดยใช้ CAD ซึ่งช่วยลดต้นทุนในการสร้างต้นแบบได้อย่างมาก
หากคุณมีอุปกรณ์ที่คุณต้องการใช้งาน อย่าลังเลที่จะติดต่อเรา ดูโบรชัวร์ของเรา การสร้างต้นแบบอุปกรณ์ขั้นต่ำ (1.9MB)

กรณีลูกค้า: Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA) การสร้างต้นแบบวงจรรวมขนาดเล็ก (มีนาคม 2021)

เรามีความยินดีที่จะรายงานว่า โยโกกาวา Solution Services Corporation ประสบความสำเร็จในการสร้างต้นแบบวงจรรวมขนาดเล็กโดยใช้เครื่องมือส่วนหน้า Minimal Fab ที่ติดตั้งในห้องปฏิบัติการแอปพลิเคชันภายในของเรา ทำให้เราเป็นบริษัทเอกชนแห่งแรกที่ทำเช่นนั้น เราดำเนินการสร้างต้นแบบภายใต้สัญญากับ JAXA

ประเด็นสำคัญ
1) ตาม "Technology 2018" ของ SOI-CMOS สำหรับ Minimal Fab ที่พัฒนาโดยสถาบันวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีอุตสาหกรรมขั้นสูงแห่งชาติ (AIST) โยโกกาวา ประสบความสำเร็จในการพัฒนาต้นแบบวงจรรวมขนาดเล็ก พร้อมการปรับให้เหมาะสมสำหรับ โยโกกาวา Minimal Application Laboratory .
2) การวัดรูปคลื่นของออสซิลโลสโคปยืนยันการทำงานของวงจรปกติ (รูปที่ 3)
3) การทำงานปกติของวงจรเลขคณิตได้รับการยืนยันในช่วงแรงดันไฟฟ้าของแหล่งจ่ายไฟตั้งแต่ 3 V ถึง 1.7 V (รูปที่ 4)
4) หลังจากบรรจุภัณฑ์ เรายืนยันการทำงานของทรานซิสเตอร์ทั้งหมด ~1,000 ตัว

การพัฒนาในอนาคต

หลังจากสร้างสภาพแวดล้อมการออกแบบโดยความร่วมมือกับบริษัทออกแบบวงจรแล้ว เราจะสร้าง PDK สำหรับการสร้างต้นแบบและขอต้นแบบของอุปกรณ์อย่างกว้างขวาง

*วัตถุประสงค์ของต้นแบบนี้คือเพื่อศึกษาวิธีการประกันคุณภาพ รวมถึงความสามารถในการทำซ้ำของกระบวนการ เพื่อส่งเสริม Minimal Fabs เป็นระบบจ่ายอุปกรณ์สำหรับอุปกรณ์จำนวนน้อยมากที่จำเป็นสำหรับยานอวกาศ

การตั้งค่าสิ่งอำนวยความสะดวก

ความท้าทายของลูกค้า

การสร้างสายการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ตั้งแต่เริ่มต้นต้องอาศัย ความเชี่ยวชาญ อย่างกว้างขวางในด้านอุปกรณ์ สาธารณูปโภค และกฎระเบียบ รวมถึงประสบการณ์ในการก่อสร้างสิ่งอำนวยความสะดวก นอกจากนี้ยังเกี่ยวข้องกับการพบปะกับผู้ผลิตอุปกรณ์และผู้รับเหมาหลายรายเพื่อหารือเกี่ยวกับข้อกำหนดและกำหนดการประสานงาน
การทำงานเหล่านี้ด้วยตัวเองต้องใช้เวลาและความพยายามอย่างมาก ซึ่งจะสร้างความกดดันให้กับธุรกิจหลักของคุณและอาจส่งผลให้ประสิทธิภาพการทำงานลดลงได้

ทางออกของ โยโกกาวา

วิศวกรของเราซึ่งมี ความเชี่ยวชาญ และประสบการณ์การก่อสร้างที่หลากหลาย จะเสนอสภาพแวดล้อมในโรงงานที่ปลอดภัยและใช้งานง่าย โดยคำนึงถึงกฎระเบียบต่างๆ เช่น กฎหมาย อุตสาหกรรม การก่อสร้าง การควบคุมสารพิษ และความปลอดภัยของก๊าซแรงดันสูง
 

ตัวอย่างการตั้งค่าสิ่งอำนวยความสะดวก

ส่วนผสมสูง ปริมาณต่ำ

ปัญหาของลูกค้า

ด้วยการมาถึงของยุค IoT(*1) ความต้องการการผลิตเซมิคอนดักเตอร์แบบผสมสูงในปริมาณต่ำจึงมีเพิ่มมากขึ้น
ปัจจุบัน การผลิตจำนวนมากที่ Mega Fabs ส่งผลให้การผลิตไม่ตรงตามปริมาณที่ต้องการ ส่งผลให้มีต้นทุนสูง

ทางออกของ โยโกกาวา

ด้วย Minimal Fabs คุณสามารถผลิตเซมิคอนดักเตอร์จากหน่วยเดียวได้
สิ่งนี้ช่วยให้คุณผลิตเฉพาะสิ่งที่คุณต้องการในเวลาที่คุณต้องการเท่านั้น กำจัดของเสียและลดต้นทุนได้อย่างมาก
นอกจากนี้ การลงทุนเริ่มแรกมีมูลค่าเพียงไม่กี่ร้อยล้านถึงหลายพันล้านเยน และค่าใช้จ่ายในการดำเนินการยังต่ำกว่ามากเนื่องจากไม่จำเป็นต้องใช้ห้องสะอาด
เราขอแนะนำว่าแม้แต่ลูกค้าที่ไม่มีโรงงานอยู่ก็ควรสำรวจความเป็นไปได้ในการสร้างสิ่งอำนวยความสะดวกเซมิคอนดักเตอร์ภายในบริษัทด้วย Minimal Fab

[*1] IoT: Internet of Things อธิบายอุปกรณ์ที่มีเซ็นเซอร์ ความสามารถในการประมวลผล ซอฟต์แวร์ และเทคโนโลยีอื่นๆ ที่เชื่อมต่อและแลกเปลี่ยนข้อมูลกับอุปกรณ์และระบบอื่นๆ ผ่านทางอินเทอร์เน็ตหรือเครือข่ายการสื่อสารอื่นๆ

เวลาตอบสนองสั้น

ปัญหาของลูกค้า

ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่ Mega Fabs เป็นเรื่องปกติที่การผลิตหน้ากากจะมีค่าใช้จ่ายสูงและใช้เวลานาน โดยต้องใช้เวลาหลายเดือนจึงจะเสร็จสมบูรณ์
ดังนั้นจึงมีความล่าช้าอย่างมากในการตอบรับจากลูกค้าเพื่อตรวจสอบและแก้ไข

ทางออกของ โยโกกาวา

ด้วย Minimal Fab การผลิตหน้ากากจึงไม่จำเป็นอีกต่อไปเนื่องจากต้องสัมผัสโดยตรง และสารกึ่งตัวนำก็สามารถแล้วเสร็จได้ภายในไม่กี่วัน
ดังนั้นจึงไม่มีการหน่วงเวลาซึ่งตรงกันข้ามกับ Mega Fabs Minimal Fab มีระยะเวลาดำเนินการสั้น (*2) ซึ่งมีประโยชน์อย่างมากสำหรับการสร้างต้นแบบอุปกรณ์

Mega Fab: ใช้เวลา หลายเดือน ในการสร้างมาสก์ให้เสร็จสมบูรณ์เพื่อผลิตอุปกรณ์ที่มีปริมาณมาก

Fab น้อยที่สุด: การเปิดรับแสงโดยตรงโดยใช้อุปกรณ์ไมโครมิเรอร์ดิจิทัล (DMD) ทำให้ไม่ต้องใช้เวลาในการผลิตหน้ากาก มาสก์ดิจิทัลจะแล้วเสร็จได้ภายใน ไม่กี่วัน การเปิดรับแสงครั้งเดียวช่วยให้สามารถตอบรับผลลัพธ์ได้อย่างรวดเร็ว ซึ่งเป็นคุณลักษณะของระบบนี้

[*2]เวลาตอบสนอง: ในด้านเซมิคอนดักเตอร์ คำว่า "เวลาตอบสนอง" หมายถึงเวลาทั้งหมดที่จำเป็นในการดำเนินการกระบวนการผลิตหรืองานเฉพาะ ตั้งแต่การเริ่มต้นจนถึงการส่งมอบขั้นสุดท้าย โดยครอบคลุมทุกขั้นตอนที่เกี่ยวข้องกับวงจรการผลิต รวมถึงการออกแบบ การผลิต การทดสอบ และกระบวนการอื่นๆ ที่เกี่ยวข้อง

การทำให้เป็นมาตรฐาน

ความท้าทาย ของลูกค้า

ในอดีต การเปลี่ยนแปลงผลการวิจัยและพัฒนาไปสู่การผลิตจริงจำเป็นต้องมีการปรับเปลี่ยนและการตรวจสอบยืนยันกระบวนการที่เกี่ยวข้องจากหลายร้อยกระบวนการซ้ำแล้วซ้ำเล่า
การเปลี่ยนแปลงนี้ต้องใช้เวลาพอสมควร และในบางกรณี อาจไม่ถึงขั้นตอนการผลิตด้วยเหตุนี้

ทางออกของ โยโกกาวา

Minimal Fab ผสานรวม R&D และการผลิตได้อย่างราบรื่นโดยใช้เครื่องมือเดียวกัน จัดการปัญหาที่ท้าทายและใช้เวลานานที่เกี่ยวข้องกับการใช้เครื่องมือที่แตกต่างกันสำหรับแต่ละเฟสได้อย่างมีประสิทธิภาพ มาตรฐานขั้นสูงช่วยให้มั่นใจได้ว่าการเปลี่ยนผ่านไปยังขั้นตอนการผลิตเป็นไปอย่างราบรื่นโดยไม่ชักช้า
Minimal Fab นำมาตรฐานไปสู่ระดับใหม่ของความสะดวกสบาย ไม่เพียงแต่ครอบคลุมขนาดของเครื่องมือแต่ละชิ้นเท่านั้น แต่ยังรวมไปถึงการใช้เวเฟอร์ขนาด 0.5 นิ้วที่ห่อหุ้มอยู่ในกระสวยขนาดเล็กมาตรฐาน (ดูแท็บวิดีโอ)
นอกจากนี้ แต่ละเครื่องมือยังมี หน้าจอของผู้ใช้ ที่เป็นมาตรฐานเหมือนกัน โดยมีโหมดอัตโนมัติ โหมดแมนนวล และโหมดการบำรุงรักษา ช่วยให้ทั้งผู้เชี่ยวชาญและมือใหม่ใช้งานอุปกรณ์เดียวกันได้อย่างมีประสิทธิภาพ และอำนวยความสะดวกในการถ่ายโอนความรู้

รายละเอียด

บทความ

ต่อไปนี้เป็นรายการบทความเกี่ยวกับ Minimal Fab
ขณะนี้ไม่มีลิงก์ที่จะแสดง

ลิงค์

ลิงก์ไปยังองค์กรที่เกี่ยวข้องกับ Minimal Fab:
-องค์กรส่งเสริม Fab ขั้นต่ำ
-สมาคมวิจัยระบบ Fab (เว็บไซต์เป็นภาษาญี่ปุ่น)
-ห้องปฏิบัติการสาธิตอุปกรณ์ IoT ขั้นต่ำ: มี "การบรรยายประสบการณ์ Fab ขั้นต่ำ" พร้อมให้บริการ (เว็บไซต์เป็นภาษาญี่ปุ่น)
–บริษัท อนาจิกซ์ คอร์ปอเรชั่น: เรากำลังวางแผนบริการรถรับส่ง Minimal Fab โดยใช้ห้องปฏิบัติการของเรา (เว็บไซต์เป็นภาษาญี่ปุ่น)

ดาวน์โหลด

แคตตาล็อก

-โซลูชันครบวงจร Fab ที่น้อยที่สุด (1.8 เมกะไบต์)
-การสร้างต้นแบบอุปกรณ์น้อยที่สุด (1.9 เมกะไบต์)
-รายการเครื่องมือ Fab ขั้นต่ำ (2.0 เมกะไบต์)
-ห้องปฏิบัติการแอปพลิเคชันขั้นต่ำ โยโกกาวา (1.8 เมกะไบต์)

วิดีโอ

ภาพรวมผลิตภัณฑ์

-การสร้างต้นแบบอุปกรณ์ Fab น้อยที่สุด (คำบรรยายเป็นภาษาอังกฤษ)
-สารกึ่งตัวนำ Fab น้อยที่สุด (คำบรรยายเป็นภาษาอังกฤษ)
-Fab ขั้นต่ำเปลี่ยนโลก (คำบรรยายเป็นภาษาอังกฤษ)
-Fab ขั้นต่ำสำหรับรุ่นต่อไป (คำบรรยายเป็นภาษาอังกฤษ)