| 1954年 | 7月23日 | 毛呂山電機株式会社設立 資本金18,000,000円 |
| 1988年 | 7月28日 | 横河インスツルメンツ株式会社設立（本社：長野県更埴市-現千曲市） 資本金 90,000,000円 （横河電機60％、ＣＧＨ40％出資の合弁） |
| 1990年 | 4月6日 | 横河インスツルメンツ株式会社 増資 36,500,000円 資本金 126,500,000円 |
| 1993年 | 5月18日 | ISO 9001認定取得 |
| 1995年 | 4月1日 | 横河電機株式会社よりビジネス移管（現場測定器、指示計器等） 並びに毛呂山電機株式会社と合併 資本金95,165,000円 本社：武蔵野市へ移転 |
| 1996年 | 10月1日 | 横河エレクトロニクス株式会社よりビジネス移管（信号変換器等） 社名変更 横河エムアンドシー株式会社 増資 204,835,000円 資本金 300,000,000円 |
| 1997年 | 4月1日 | 横河電機株式会社より制御ビジネス移管（シングルループコントローラ、温度調節計） |
| 1999年 | 4月23日 | ISO 14001認定取得 |
| 2001年 | 9月1日 | 横河電機株式会社へビジネス移管（指示計器等） |
| 2002年 | 1月1日 | 横河エレクトロニクス・マニュファクチャリング株式会社へ生産機能移管 減資 10,000,000円 資本金 290,000,000円 |
| 2002年 | 3月31日 | 長野事業所閉鎖 |
| 2003年 | 12月11日 | 第48回澁澤賞を受賞 （ミニリーククランプテスタ） |
| 2004年 | 4月1日 | 横河電機株式会社へ制御ビジネス移管 （シングルループコントローラ、温度調節計、信号変換器等） |
| 2004年 | 11月19日 | 第52回電気科学技術奨励賞（オーム技術賞）を受賞 （温度コレクタ） |
| 2005年 | 1月1日 | 減資 200,000,000円 資本金 90,000,000円 |
| 2005年 | 10月1日 | 横河電機株式会社よりビジネス移管（メーター） 社名変更 横河メータ＆インスツルメンツ株式会社 |
| 2006年 | 2月6日 | 本社を立川市へ移転 |
| 2010年 | 4月1日 | 横河電機株式会社より測定器ビジネス移管（高精度、波形、通信測定器等） |
| 2014年 | 12月1日 | 本社を武蔵野市へ移転 |
| 2017年 | 10月1日 | 社名変更 横河計測株式会社 |
| 2021年 | 1月6日 | 本社を八王子市へ移転 |