駒ヶ根事業所

駒ヶ根事業所の紹介

駒ヶ根事業所について

「高品質な製品とソリューションを世界同一品質で提供する」これこそがYOKOGAWAが長年にわたり貫いてきたものづくりの信念です。 その根底には100年以上も守り続けてきた創業の精神「品質第一主義」があります。
この精神を具現化する国内キーコンポーネンツの生産工場が横河マニュファクチャリング駒ヶ根事業所です。
駒ヶ根事業所は、差圧・圧力伝送器「DPharp」シリーズのコア部品である、圧力センサチップ及びヨークAssyの生産を行っています。 電子式DPharpシリーズは、横河電機独自で開発・設計した単結晶シリコン振動式センサ（シリコンレゾナントセンサ）を圧力検出素子として搭載し、次の特長を実現しています。
①単結晶・高真空だから高安定
②2つの振動子で高精度測定
③優れた感度とハイレンジアビリティ
④高精度・長期安定性

駒ヶ根事業所の主な製造ライン

駒ヶ根事業所の生産品である伝送器のセンサチップとヨークAssyの製造に関わるラインについてご紹介します。
Ⓐウェハ加工ラインでは、シリコンウェハの加工をしています。 ダウンフロー形のクリーンルームですが、さらにクリーン度を要求するエリアは、リーンブース、クリーントンネルを設置して、清浄度を確保しています。
省エネ施策と連動した計画生産が特徴です。
Ⓑガラス加工・接合ラインは、ガラスの穴開け、シリコンウェハとの接合、チップ個片の切り出し作業をしています。
ここで丸型ウェハから四角形チップに姿が変わり、外観検査で品質確認をしています。
©ヨークAssyラインは、前後工程の作業が連動するタクトタイム生産をしています。 そのために各工程は標準作業化を徹底しています。