WEBFREX NV系统与制膜机组合使用,可以准确地在线测量薄膜和薄片的厚度。它可以生成图表(曲线图),快速掌握分布情况;这些图表可用于控制厚度并确保生产线上的所有薄膜和薄片具有均匀的厚度。
传感器产品系列
我们提供的传感器产品系列:β射线、X射线和红外线传感器。β射线传感器可应用于各种材料。X射线传感器对金属元素高度灵敏。红外线传感器不使用放射线。用户可选择适合应用的传感器。
如果您需要测试样品,请联系横河电机。
经过验证的控制功能
控制功能根据测量数据从纵向和横向对薄片执行控制计算。这在多种工艺中都经过了验证。横河电机将为用户提供建议,选择适合其生产线的控制功能。
如果您考虑采用这些功能,请联系横河电机。
系统网络
WEBFREX NV可综合管理几条生产线的数据,提高生产效率。WEBFREX NV使用开放的、多用途的以太网技术,在信息管理、质量/生产管理和控制级别方面促进与用户系统的连接。
提升系统等级
对WEBFREX3系统进行局部提升,可以获得新的WEBFREX NV系统,以便继续使用。若您的系统为WEBFREXⅡ或更早版本,请联系横河电机。提升系统等级的详细情况取决于您的系统版本。欲了解更多信息,请通过以下方式联系我们:
详细介绍
机架是一种驱动装置,装载有传感器进行薄膜和薄片厚度扫描。为了使传感器充分发挥性能,机架必须具有非常高的刚性,并采用高性能驱动装置。
高刚性和高耐用性的设计
机架采用了高刚性工字钢或单体构造(Monocoque Frame)的设计。它的结构非常坚固,即使在恶劣的环境下,装载的传感器也能准确测量薄膜和薄片的厚度。
高性能CPU
横河电机为这些机架研发了具有高性能和高可靠性的专用CPU。
机架产品系列
针对不同的测量对象和安装空间,横河电机可提供多种形状的机架。对于需要其他机架形状的安装空间,横河电机可提供咨询服务。
O型机架
适用于所有应用。可以装载多个传感器。
C型机架
适用于需要较小设备空间和较窄测量宽度的应用,例如陶瓷和板边的测量。可以装载多个传感器。
测量操作站采用Windows®系统,用户可以轻松连接至打印机及其他外围设备。
直观设计,易于使用
WEBFREX NV具有多种易于使用的操作和监视画面。操作画面显示易于理解的曲线图,包含机架/传感器状态和厚度测量数据。操作管理画面便于进行各种薄膜、薄片等级及报表的管理。单击鼠标,每个屏幕都会显示在线帮助画面。
集成质量与生产管理功能
曲线图堆栈式服务器以前在用户PC上运行,现在也可安装在测量操作站上。
用户PC可继续用在大规模系统中。
使用可维持较长时间的专门设计的PC
用作测量操作站的PC是按照横河电机与制造商的协议专门设计的计算机。其供货期约是具有相同功能的市售型号的两倍,可保证用户的长期维护。
高度准确的β射线、X射线和红外线传感器可用于多种不同的测量应用中。这些是与样品无接触的传感器,不会损坏测量对象。
β射线传感器照射被测对象,根据透过被测物时β射线的衰减,进行厚度(基重)测量。只要被测物的厚度在规定的测量范围之内,β射线传感器都可以进行测量。
测量对象的β射线放射源:
放射源可以使用147Pm (钷)、85Kr (氪)、90Sr (锶),根据测量对象进行选择。
高精度测量
β射线传感器既测量被测对象,又测量周围的空气层。通过使用空气吹扫装置,使空气层的温度和密度保持恒定,传感器使用这种方式进行补偿,从而使其对测量精度的影响明显降低。它还有针对放射源衰减的自动补偿功能和用于降低放射干扰的计算功能。这些功能及其他功能确保了稳定、高精度的测量。
X射线传感器照射被测对象,根据透过被测物时X射线的衰减,进行厚度(基重)测量。X射线传感器的灵敏度根据被测对象原子量的不同而变化。X射线传感器对金属元素尤其灵敏,经常用于测量IT相关的材料,如陶瓷薄片(MLCC等)、电池电极等。
具有稳定性、高输出率的独特X射线管
X射线传感器使用具有反射三极管结构的独特管,可实现出色的稳定性和高输出率。
高精度测量
与β射线传感器一样,X射线传感器具有使空气层的温度保持恒定的补偿功能,使其对测量精度的影响明显降低。
红外线传感器照射被测对象,根据透过被测物时红外光的衰减,进行厚度(基重)测量。它们对CH基灵敏,可用于多种不同类型的薄膜和薄片。
无需更换
光源使用长寿命的电热丝,几乎不需要更换。不同厚度的测量对象可使用高度灵敏的波长滤波器。
高精度测量
通过使用多种不同的波长滤波器和对厚度灵敏的滤波器,可将不透明度、颜色、环境温度变化的影响降低,实现稳定、高精度的测量。
控制单元控制纵向(MD)厚度和横向(CD)厚度。根据制膜机的类型(如铸造机和双向拉伸机)和响应时间,可从以下选项中选择适当的控制方法:
MD控制
该方法利用MD来控制薄膜和薄片的厚度。可以选择采样数据PI控制或有限的时间沉降响应控制。每个测量操作站至多可实现四个回路。
虚拟区曲线图控制已经在很多工艺中取得了令人满意的结果。它在螺栓之间的中间点及螺栓上产生曲线图,进行控制计算。这可以防止螺栓之间出现曲线图高峰和低谷,这在只用于螺栓上的曲线图的传统曲线图控制中经常会成为问题。(横河电机专利)
虚拟区曲线图控制
Expert模糊控制基于模糊逻辑,包含经验丰富的机械操作员的手动螺栓操作技能。若机器(主要是双向拉伸机)对螺栓操作的曲线图响应重复性较低,这种控制方法会很有效,比传统控制方法更稳定。Expert模糊控制采用了虚拟区的概念。
Expert模糊规则
有限沉降模型预测控制采用有限的时间沉降响应方法进行曲线图控制。该预测控制采用死区内部模型和一阶滞后系统,这样滞后时间较长的机器也能在很短的时间内达到目标值。这种控制对滞后时间较长的机器具有巨大的影响。
有限的时间沉降响应
映射是CD控制重要的参数,但是会根据拉伸比、机器速度等操作条件的不同而变化。因此,为了保持准确的控制,需要为每个等级设置参数,并重新进行调试。
CD自适性控制始终监视CD控制过程中的工艺状态,使用结合了陡坡下降法和神经网络的横河电机独有算法,自动识别并调整驱动器(如热螺栓)和曲线图上的测量点之间的映射。
自动映射控制
辊形控制结合了根据用户专门技能制定的规则,并将其应用于CD控制。利用CD控制,可以通过消除突出的峰值,改善辊形。
辊形控制
新闻
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新闻 2015年5月14日 横河电机发布WEBFREX NV在线测厚仪
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